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濺鍍/材料知識

卷對卷濺鍍與傳統電鍍差異性比較

卷對卷濺鍍與傳統電鍍都是業界常見的鍍膜製程工藝,兩者都有其優劣勢,在此提供一些製程特性比較表,供研發人員與終端客戶參考。

昂筠是卷對卷濺鍍電子材料製造商,除自有產品外也提供卷對卷濺鍍代工服務,協助客戶大量製造柔性電子薄膜產品或是配合客戶RD進行初期開發(MOQ=1卷),有需求者歡迎洽詢
 
卷對卷濺鍍vs傳統電鍍製程比較
評估維度 卷對卷濺鍍
(R2R Sputtering)
傳統電鍍
(Electroplating)
備註
工藝原理 物理氣相沉積(PVD)
高真空環境下離子轟擊靶材沉積薄膜
化學電解沉積,通過電流還原金屬離子形成鍍層  
環保性 無化學廢液,廢棄物主要為廢靶材(固態),可回收再加工重製 含重金屬廢水/廢液(如六價鉻),需複雜妥善處理 濺鍍占優勢
鍍層厚度 較薄,通常是奈米~微米級(0.1-3um),需多層沉積增厚

*奈米級較容易,微米厚度依基材及設備特性有所不同
靈活,通常是微米級(1-100um),適合厚鍍層需求 電鍍占優勢
均勻性/精度 均勻性較高
(真空環境控制,膜厚偏差<±5%)
受電場分布影響,邊緣/複雜結構均勻性較低 濺鍍占優勢
材料兼容性 廣(金屬、合金,支持高熔點材料) 受限(依賴電解液,難鍍高熔點金屬) 濺鍍占優勢
生產模式 連續卷對卷生產,適合大批量 批次處理,效率較低 濺鍍占優勢
設備成本 高(真空系統、靶材) 低(槽體、電源) 電鍍初期占優勢
技術成熟度 在柔性電子/太陽能領域成熟 傳統散熱片製造主流工藝  
環保法規適配性 完全符合RoHS、REACH等嚴苛標準 面臨環保法規升級風險(如重金屬禁用) 濺鍍占優勢
典型應用場景 超薄散熱片、柔性電子零組件、高精度需求(如5G晶片散熱) 厚層散熱器、大尺寸結構件(如CPU散熱底座) 場景互補
核心挑戰 增厚技術瓶頸、高成本設備與靶材 環保合規壓力、均勻性提升難度 --
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