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溅镀/材料知识
卷对卷溅镀与传统电镀差异性比较
卷对卷溅镀与传统电镀都是业界常见的镀膜制程工艺,两者都有其优劣势,在此提供一些制程特性比较表,供研发人员与终端客户参考。昂筠是卷对卷溅镀电子材料制造商,除自有产品外也提供卷对卷溅镀代工服务,协助客户大量制造柔性电子薄膜产品或是配合客户RD进行初期开发(MOQ=1卷),有需求者欢迎洽询。
评估维度 | 卷对卷溅镀 (R2R Sputtering) |
传统电镀 (Electroplating) |
备注 |
工艺原理 | 物理气相沉积(PVD) 高真空环境下离子轰击靶材沉积薄膜 |
化学电解沉积,通过电流还原金属离子形成镀层 | |
环保性 | 无化学废液,废弃物主要为废靶材(固态),可回收再加工重制 | 含重金属废水/废液(如六价铬),需复杂妥善处理 | 溅镀占优势 |
镀层厚度 | 较薄,通常是奈米~微米级(0.1-3um),需多层沉积增厚 *奈米级较容易,微米厚度依基材及设备特性有所不同 |
灵活,通常是微米级(1-100um),适合厚镀层需求 | 电镀占优势 |
均匀性/精度 | 均匀性较高 (真空环境控制,膜厚偏差<±5%) |
受电场分布影响,边缘/复杂结构均匀性较低 | 溅镀占优势 |
材料兼容性 | 广(金属、合金,支持高熔点材料) | 受限(依赖电解液,难镀高熔点金属) | 溅镀占优势 |
生产模式 | 连续卷对卷生产,适合大批量 | 批处理,效率较低 | 溅镀占优势 |
设备成本 | 高(真空系统、靶材) | 低(槽体、电源) | 电镀初期占优势 |
技术成熟度 | 在柔性电子/太阳能领域成熟 | 传统散热片制造主流工艺 | |
环保法规适配性 | 完全符合RoHS、REACH等严苛标准 | 面临环保法规升级风险(如重金属禁用) | 溅镀占优势 |
典型应用场景 | 超薄散热片、柔性电子零组件、高精度需求(如5G芯片散热) | 厚层散热器、大尺寸结构件(如CPU散热底座) | 场景互补 |
核心挑战 | 增厚技术瓶颈、高成本设备与靶材 | 环保合规压力、均匀性提升难度 | -- |