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溅镀/材料知识

卷对卷溅镀与传统电镀差异性比较

卷对卷溅镀与传统电镀都是业界常见的镀膜制程工艺,两者都有其优劣势,在此提供一些制程特性比较表,供研发人员与终端客户参考。

昂筠是卷对卷溅镀电子材料制造商,除自有产品外也提供卷对卷溅镀代工服务,协助客户大量制造柔性电子薄膜产品或是配合客户RD进行初期开发(MOQ=1卷),有需求者欢迎洽询
 
评估维度 卷对卷溅镀
(R2R Sputtering)
传统电镀
(Electroplating)
备注
工艺原理 物理气相沉积(PVD)
高真空环境下离子轰击靶材沉积薄膜
化学电解沉积,通过电流还原金属离子形成镀层  
环保性 无化学废液,废弃物主要为废靶材(固态),可回收再加工重制 含重金属废水/废液(如六价铬),需复杂妥善处理 溅镀占优势
镀层厚度 较薄,通常是奈米~微米级(0.1-3um),需多层沉积增厚

*奈米级较容易,微米厚度依基材及设备特性有所不同
灵活,通常是微米级(1-100um),适合厚镀层需求 电镀占优势
均匀性/精度 均匀性较高
(真空环境控制,膜厚偏差<±5%)
受电场分布影响,边缘/复杂结构均匀性较低 溅镀占优势
材料兼容性 广(金属、合金,支持高熔点材料) 受限(依赖电解液,难镀高熔点金属) 溅镀占优势
生产模式 连续卷对卷生产,适合大批量 批处理,效率较低 溅镀占优势
设备成本 高(真空系统、靶材) 低(槽体、电源) 电镀初期占优势
技术成熟度 在柔性电子/太阳能领域成熟 传统散热片制造主流工艺  
环保法规适配性 完全符合RoHS、REACH等严苛标准 面临环保法规升级风险(如重金属禁用) 溅镀占优势
典型应用场景 超薄散热片、柔性电子零组件、高精度需求(如5G芯片散热) 厚层散热器、大尺寸结构件(如CPU散热底座) 场景互补
核心挑战 增厚技术瓶颈、高成本设备与靶材 环保合规压力、均匀性提升难度 --
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