スパッタにより 一般的に使用されるフレキシブル導電性材料（銅/アルミニウム/ITO/グラファイト）の紹介

ロールツーロール スパッタリングは、金属、合金、グラファイトなどのターゲットにできる特定の材料をフレキシブル基板上に堆積する金属化薄膜プロセスです。これは、さまざまなフレキシブル電極材料とそのアプリケーションの製造に使用できる、効率的で信頼性が高く、大量生産可能なプロセスです。

Topnano社のスパッタリング導電材料は、フレキシブルポリマープラスチック基板（PETフィルム/PIフィルムなど）またはフレキシブル金属基板（銅箔/アルミ箔など）上に導電層をスパッタリングして形成した製品です。現在、フレキシブルエレクトロニクスやフレキシブル回路基板の分野で主に使用されています。また、金属膜センサーの材料の1つとしても使用できます。さまざまな種類の金属層をスパッタリングすることで、ウェアラブルデバイスに使用できます。 (圧力センサー、ひずみゲージなど)、フレキシブルディスプレイ用の統合センシング素子など。

以下に、参考までに一般的な導電性材料をいくつか示します。

1.銅めっき材料の特性と用途

材料特性	説明
電気伝導性	銅は優れた導電性を持つ優れた導電性材料であり、優れた電気特性を提供できます。
熱伝導率	銅は熱伝導性に優れ、温度均一性、垂直方向の熱伝導性も良好で、熱エネルギーを基板に素早く伝達できます。
簡単に貼り付けられる	銅の表面は他の材料に容易に接着し、他の材料とうまく組み合わせることができます。
耐腐食性	銅は耐食性に優れており、さまざまな環境で安定して動作します。

*Topnano社のスパッタ銅層の銅結晶粒子、気孔、表面粗さ（Rq）は、ED電解銅やRA圧延銅よりも小さく、より細かい粒度分布範囲と平均値を持ち、材料表面はより滑らかです。スムーズで高速伝送に適しています。

スパッタ銅の用途:

• 銅金属フィルムはフレキシブル基板（PET/PIフィルム等）と組み合わせることで導電性材料となり、銅フィルム上に回路を形成後、フレキシブル電極材料として使用できます。
• 18um銅箔を支持キャリアとして使用することで、3um/5umの極薄銅箔（極薄銅スキン）を製造でき、IC基板やコアレス基板などの細線PCBプロセスで使用されます。

その他の実用的な用途としては、EMI 電磁シールド基板、接着剤不要のフレキシブル銅箔基板 FCCL、アンテナやその他の電子部品用のフレキシブル基板材料などがあります。

* 銅メッキについては、Angjun は水平銅メッキ厚付け設備も備えています。スパッタリング型ナノ銅のほか、接着剤不要の FCCL で銅厚を 2～9um まで厚くすることもできます。片面基板の銅の厚さは 18um まで増加できます。

2.アルミニウムめっき材料の特性と用途

材料特性	説明
軽量かつ高強度	アルミニウムは、比重が鉄の約3分の1しかない軽量で高強度の金属素材ですが、非常に強度が高く、高速スパッタリングや高エネルギーイオン衝撃にも耐えることができます。
耐腐食性	アルミニウムは耐食性に優れ、さまざまな化学腐食に耐えることができ、酸化されにくいです。
電気伝導性	アルミニウムは電気伝導性に優れており、優れた電気伝導性を持っています。
均一性	アルミニウムターゲットの組成は均一であるため、スパッタリングされた材料の均一性を確保できます。

アルミニウムメッキ材料は、金属膜堆積、表面改質、電子部品などの分野で広く使用されています。

3. ITO透明導電膜材料の特性と用途

材料特性	説明
透明性	ITO は可視光領域での透過率が高く、透明導電膜の製造に使用できます。
電気伝導性	ITOは優れた電気伝導性を持ち、導電膜を作るのに使用でき、一般的に使用されている透明電極材料です。
光学特性	ITOは屈折率が高く反射率が低いため、反射防止フィルムの製造に使用できます。
化学的安定性	ITO は化学的安定性に優れ、腐食や酸化に耐え、高温環境でも安定して動作します。

ITO フィルムの用途: 透明電極、タッチパネル、電子ペーパー、冷光フィルム (EL フィルム)、携帯電話/コンピューターのプライバシーフィルム、KIOSK マルチメディアセルフサービス機、POS 機など。

4.グラファイト コーティング材料の特性と用途

材料特性	説明
電気伝導性	グラファイトは電気伝導性に優れているため、金属基板の保護層、フィルム抵抗器、サーミスタなどのさまざまな電子デバイスの製造に使用できます。
高温安定性	グラファイトは高温安定性に優れており、高温真空炉、高温熱処理などの高温環境でも使用できます。
低い膨張係数	グラファイトは膨張率が極めて低いため、高精度の計測機器や精密機械の製造などに使用されます。
化学的安定性	グラファイトはほとんどの化学物質に対して優れた安定性を持ち、さまざまな化学環境で使用できます。
熱伝導率	グラファイトは熱伝導性に優れているため、熱伝導率の高いヒートシンクなど、さまざまな用途に使用できます。

グラファイトの用途: 半導体、電子機器、電気自動車のバッテリー材料、航空宇宙、原子力工学などの分野で広く使用されています。

人造黒鉛シートと比較して、当社のスパッタ黒鉛は粉末が失われません。上記の特性に加えて、耐摩耗性を向上させ、表面硬度を高めることもできます。

当社は、PET/PI フィルムなどのプラスチック基板、または銅箔などの金属基板にグラファイトをスパッタリングして、高品質のグラファイト複合フィルムを製造できます。

*当社はロールツーロールスパッタリングサービスを提供しています。導電性のある上記4種類のターゲットを保有しています。ご要望がございましたら、<ロールツーロールスパッタリングサービス>をご覧の上、メールまたは電話でお問い合わせください。

※ロールツーロールスパッタリングに関するその他のQ&Aについては、公式サイト上部の<よくある質問と回答>をご覧ください。