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溅镀/材料知识

蒸镀VS溅镀技术用于薄膜沉积方式比较


蒸镀和溅镀是常见的镀膜技术,它们有以下的差异:
 
蒸镀和溅镀的镀膜原理不同
蒸镀是利用热能或电子束将镀材加热至升华或离子化,再沉积到基材上形成膜层。
溅镀是利用离子束轰击镀材,使其形成离子状态,然后通过电场沉积到基材上形成膜层。
 
蒸镀和溅镀的制程特点不同
蒸镀技术可以制备高纯度、高密度和高平整度的薄膜,适用于高档玻璃、光学器件、集成电路等行业。
溅镀技术适用范围广,可以制备大面积、厚度均匀的薄膜,且其薄膜质量在某些方面如附着力和耐腐蚀性等方面比蒸镀技术更优秀。
例如需要重视剥离强度(拉力强度)的镀膜就建议采用溅镀方式才能达到要求。
 
蒸镀和溅镀的镀膜材料限制不同
蒸镀技术可以用于镀膜多种材料,如金属、氧化物、硫化物、氮化物等。
溅镀技术通常适用于金属、塑料材料、氧化物材料的镀膜。

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蒸镀VS溅镀技术用于镀膜方式比较
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