R2Rマグネトロンスパッタリングによる成膜では、ターゲットを変更することで、様々な物質を成膜する事ができ、組成の制御も比較的容易であるというメリットがあります。

ロールツーロールマグネトロンスパッタリング技術は応用範囲が広く、大面積で均一な膜厚の膜を作製できるほか、密着性や耐食性などの面で蒸着法に比べてスパッタ膜の品質が優れています。 例えば、剥離強度（引張強度）を重視する必要がある皮膜の場合には、スパッタリング法を使用することをお勧めします。

弊社のロールツーロール真空スパッタリング装置、銅の化学めっき製造法を使い、主として光学等級のプラスチック基材上に高緻密度で均等な成膜処理を行っております。現在では主にプラスチック基材または金属箔をベースに薄型フレキシブル銅張積層板・カーボン箔・ITO透明導電性フィルムなど色々な工業用材料を製造しております。




お客様のニーズに応じ、R2Rスパッタリング加工、薄膜加工、薄膜成膜をアルミ、PET、PIなどの基材に形成する受託加工を行っております。

顧客向け製品開発・量産事例

当社は、ロールツーロール磁気スパッタ（Roll-to-Roll Sputtering）技術および ナノ金属薄膜コーティングの 受託加工サービスを提供し、世界各国の顧客に向けて高性能薄膜材料・導電材料・複合金属機能材料の開発を支援しています。

以下は代表的な開発・量産事例です。

1. 日本メーカーの熱電材料開発を支援
   高均一なナノ薄膜成膜技術により、熱電材料のエネルギー変換効率向上に貢献。

2. 日本メーカーの新型導電フィルム材料開発を支援
   導電性、表面均一性、信頼性を強化し、次世代電子デバイス向け材料を共同開発。

3. 中国顧客向けに LED 透明ディスプレイ用 PET 銅コーティングフィルムを量産
   Roll-to-Roll スパッタリングにより、高透明・高導電の PET 銅薄膜を安定量産し、透明ディスプレイ用途に採用。

4. イスラエル顧客の複合金属箔機能材料の開発を支援
   多層複合金属薄膜を設計し、熱特性・電磁シールド性能を強化。

5. 台湾顧客の多機能フィルム材料開発を支援
   フレキシブルエレクトロニクス、EMI シールド、センサー材料など多様な用途に対応した機能性薄膜を共同開発。

6. 台湾顧客導電材料の金属層均一性を向上
   Roll-to-Roll スパッタプロセスの最適化により、金属層の厚み均一性・密着性・導電安定性を改善し、製品性能と歩留まりを向上。

*スパッタ製品にご興味がございましたら、お問い合わせください。
メール：shirley.lin@topnano.com.tw（リン氏）*

　基材選び：　

• ポリエチレンテレフタラート(PET フィルム）
• ポリイミドフィルム (PI フィルム） 
• 銅箔
• アルミ箔 

 *お客様は独自のベース基材を提供し、スパッタリングサービスを当社に委託することができます

  金属ターゲット選び：

銅（Cu）、ニッケルクロム（NiCr）、チタン（Ti）、ニッケル銅（NiCu）、ポリシリコンターゲット、グラファイト（C）ターゲット、ITOインジウムスズ酸化物ターゲットなど。　

*PETフィルムスパッタ材料応用：FPCフレキシブルプリント基板・5Ｇアンテナ・透明LEDディスプレイ・透明薄膜ヒーターなど。

現在、お客様のご要望にお応えして、PETフィルムベースの上に、銅の厚さ9um〜18umの片面銅張積層板を開発しております。
興味のある方はお問い合わせください。

 Ｒ2Ｒスパッタ材料応用：

• 2層フレキシブル銅張積層板
• EMI電磁波シールド
• ITOフィルム
• ヒートスプレッダ
• 電子材料

注意事項：

*スパッタリングを依頼する際には、弊社へ成膜希望の基材の材質、厚み等の情報や、成膜ターゲット、成膜厚みなどの情報をご提示いただけましたら御見積もりをご提出させていただきます。内容により製作期間が変わりますので、納期についてはその都度ご確認下さい。

*内容についてご不明な点等がある場合にはいつでもお気軽に弊社までお問い合わせ下さい。初めてのお客様は大変お手数ですが、弊社お問い合わせページより所定の項目をご記入いただきお問い合わせ下さい。